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產(chǎn)品&解決方案

能源管理系統(tǒng)

針對(duì)高能耗的制造車(chē)間，搭建能源數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、能源管理系統(tǒng)，開(kāi)展能耗數(shù)據(jù)采集、監(jiān)測(cè)和可視化分析，并與MES、ERP等系統(tǒng)無(wú)縫集成，通過(guò)實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)能耗精益管理，解決傳統(tǒng)模式下能源監(jiān)管困難、能源成本居高不下的難題，提高企業(yè)能源利用率，同時(shí)為設(shè)備的智能運(yùn)維提供數(shù)據(jù)支撐。

關(guān)鍵詞：

泛半導(dǎo)體高端工藝裝備制造商、智能制造和整線集成解決方案提供商

所屬分類(lèi)：

電話：

能源管理系統(tǒng)

相關(guān)產(chǎn)品

RSC-6000型異質(zhì)結(jié)PECVD設(shè)備（含自動(dòng)化）

設(shè)備采用射頻等離子體增加化學(xué)氣相沉積技術(shù)，在制絨清洗后的硅片表面，沉積5-10NM非晶硅鈍化層。非晶硅鈍化層包括本征非晶硅層（I層）、摻雜非晶硅層（P層）和摻雜非晶硅層（N層），且具備切換成甚高頻電源進(jìn)行摻雜微晶硅層（P層）和參雜微晶硅層（N層）的沉積；配備等離子清洗系統(tǒng)，可在腔內(nèi)實(shí)現(xiàn)腔體和板框的自動(dòng)清洗功能，維護(hù)保養(yǎng)方便；自動(dòng)上下料系統(tǒng)具備上料自動(dòng)外觀（破片、缺口、崩邊）檢測(cè)及下料PL檢測(cè)功能，整機(jī)良率及穩(wěn)定性好。

RSP-100型掃描式磁控濺射設(shè)備

PVD又稱(chēng)物理氣相沉積，RSP-100為多靶水平磁控濺射系統(tǒng)，專(zhuān)為實(shí)驗(yàn)室工藝研發(fā)、材料開(kāi)發(fā)等功能開(kāi)發(fā)的一款多功能實(shí)驗(yàn)性平臺(tái)，可滿足自動(dòng)往復(fù)多次鍍膜的要求。

RSD-100型原子層沉積設(shè)備

本設(shè)備可為單腔原子層積沉系統(tǒng)，專(zhuān)為實(shí)驗(yàn)室工藝研發(fā)、材料開(kāi)發(fā)等功能開(kāi)發(fā)的一款多功能實(shí)驗(yàn)性平臺(tái)，可針對(duì)性實(shí)現(xiàn)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池（PSCS)電子傳輸層薄膜（TIO2、SNO2等）的制備。

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