工廠數(shù)字化系統(tǒng)
工廠數(shù)字化系統(tǒng)應(yīng)用5G、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、人工智能等新一代信息技術(shù)，建設(shè)SCADA等數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、MES制造執(zhí)行系統(tǒng)、EMS能源管理系統(tǒng)、WMS倉儲管理系統(tǒng)等核心數(shù)字化系統(tǒng)，并實現(xiàn)各系統(tǒng)的信息集成與融合，實現(xiàn)光伏電池制造全要素、全流程進(jìn)行數(shù)字化管控，打造數(shù)字化工廠，實現(xiàn)精益制造。
關(guān)鍵詞：
泛半導(dǎo)體高端工藝裝備制造商、智能制造和整線集成解決方案提供商
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RSC-6000型異質(zhì)結(jié)PECVD設(shè)備（含自動化）
設(shè)備采用射頻等離子體增加化學(xué)氣相沉積技術(shù)，在制絨清洗后的硅片表面，沉積5-10NM非晶硅鈍化層。非晶硅鈍化層包括本征非晶硅層（I層）、摻雜非晶硅層（P層）和摻雜非晶硅層（N層），且具備切換成甚高頻電源進(jìn)行摻雜微晶硅層（P層）和參雜微晶硅層（N層）的沉積；配備等離子清洗系統(tǒng)，可在腔內(nèi)實現(xiàn)腔體和板框的自動清洗功能，維護(hù)保養(yǎng)方便；自動上下料系統(tǒng)具備上料自動外觀（破片、缺口、崩邊）檢測及下料PL檢測功能，整機(jī)良率及穩(wěn)定性好。
PVD又稱物理氣相沉積，RSP-100為多靶水平磁控濺射系統(tǒng)，專為實驗室工藝研發(fā)、材料開發(fā)等功能開發(fā)的一款多功能實驗性平臺，可滿足自動往復(fù)多次鍍膜的要求。
本設(shè)備可為單腔原子層積沉系統(tǒng)，專為實驗室工藝研發(fā)、材料開發(fā)等功能開發(fā)的一款多功能實驗性平臺，可針對性實現(xiàn)鈣鈦礦太陽能電池（PSCS)電子傳輸層薄膜（TIO2、SNO2等）的制備。
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